东莞市新铧机械设备有限公司匠心呈现——XHSOL-10-09-6R 半导体洁净隧道炉。
专为半导体封装、精密光学、高端薄膜材料(PET/PC)制程打造。集“千级洁净环境、六区精准温控、垂直层流运风”于一体,彻底解决传统烘干设备中的粉尘污染、温差过大及固化不均痛点,是提升良品率与产能的旗舰级选择。
· 二级过滤系统:进风口配置初效过滤器 + 炉内内置耐高温高效过滤器(HEPA)**,双重拦截微尘。
· 无尘化设计:全内胆采用T1.2mm SUS304镜面不锈钢满焊制作,无死角、不积尘;加热元件选用304#无尘化电热管,杜绝加热过程产生的微粒脱落。
· 适用场景:完美适配对洁净度要求极高的半导体晶圆、光学膜片(PET/PC)烘干工艺。
· 分区控制:升温区(1区),共6个独立温区,支持差异化温度曲线设定。
· 超高精度:采用进口温控器+固态继电器+精密K型热电偶,具备PID自动整定功能。
· 均匀度指标:恒温150℃空炉状态下,横向温差控制在**±2~4℃**,纵向温差**±5~8℃**(进出料段除外)。
· 快速响应:空炉30分钟内即可从常温升至150℃,大幅缩短待机时间。
· 风道设计:采用顶部垂直向下运风方式,配合多组长轴型高温马达与多翼式不锈钢风轮,形成均匀层流,避免横向吹拂导致的產品移位或二次污染。
· 热风回收:特设500mm热风回收罩,节能降耗,提升热效率。
· 宽幅网带:900mm宽黑色铁氟龙网格网带(内径2*2mm),耐温耐腐蚀,适用于各类薄片状产品。
· 自动纠偏:标配特氟龙导条自动纠偏装置,防止网带跑偏卡顿,确保持续稳定生产。
· 无级调速:变频器控制,速度范围0.5-5m/min任意调节(常用2m/min),灵活匹配不同工艺节拍。
· 便捷检修:炉盖采用气弹簧推杆掀开 + 手动撑杆保护设计,单人即可轻松开启,方便内部清洁与维护。
· 高效保温:150mm厚高密度白色硅酸铝棉保温层,外配整体隔热封板,表面温度低,节能且安全。
· 多重保护:具备超温报警、过载保护、漏电断路、电源逆相保护等功能;电柜防护等级达IP54,三色信号灯实时状态监控。
项目 | 参数详情 |
电源规格 | AC380V 3φ 50Hz / 总容量 53KVA |
加热功率 | 46KW (恒温状态约28KW,节能显著) |
温控范围 | 室温 ~ 220℃ |
内空尺寸 | 长6000 × 宽960 × 高100 mm |
外形尺寸 | 长10000 × 宽1360 × 高1650 mm (以实物为准) |
结构分段 | 进料(750)+回收(500)+升温(1000)+恒温(5000)+冷却(2000)+出料(750) mm |
冷却系统 | 多排轴流风扇强制风冷 + 尾端热风收集排出 |
机身材质 | 内胆:SUS304镜面不锈钢;外壳:冷轧钢板静电粉体涂装(邹纹灰白) |
操作界面 | 触摸屏 + PLC可编程控制器 |
✅ 半导体行业:芯片封装固化、引线框架烘干、晶圆清洗后干燥。
✅ 光电显示:PET/PC薄膜光学膜烘干、触摸屏油墨固化、偏光片热处理。
✅ 新能源材料:锂电池极片涂布后烘干、隔膜热处理。
✅ 精密电子:FPC软板补强、电子元器件去湿固化。
源头厂家:东莞本土制造,拒绝中间商差价,提供最具竞争力的性价比。
定制专家:支持尺寸、温度、洁净度等级(百级/千级/万级)的深度非标定制。
品质承诺:核心部件选用知名品牌,整机质保,终身技术支持。
交付保障:标准化生产流程,按期交付,提供上门安装调试及操作培训。
升级您的生产线,从一台高洁净隧道炉开始!
咨询热线:[13925579290]
官方网站:www.dgxhua.com (示例)
公司地址:广东省东莞市万江街道滘联路70号1号楼102室
搜索关键词:洁净隧道炉 | PET洁净隧道炉 | PC洁净隧道炉 | 半导体烘干设备 | 东莞新铧机械 | 千级隧道炉厂家
东莞市新铧机械设备有限公司 —— 专注热工设备研发,为精密制造保驾护航!


