专为VC(Vapor Chamber)均热板行业量身定制的高端热处理设备,解决超薄铜材焊接后残余应力导致的变形、泄漏及性能衰减痛点,助力企业突破0.3mm极限厚度工艺瓶颈。
在VC均热板制造中,扩散焊/钎焊/激光焊接是核心封装工艺,但随之而来的残余应力却是隐形的“质量杀手”:
· 微变形导致失效:焊接应力使超薄腔体(<0.4mm)发生微米级翘曲,破坏真空密封性,直接导致散热失效。
· 毛细结构受损:应力集中易造成内部铜粉烧结层或铜网微裂纹,阻碍工质回流,降低相变传热效率。
· 寿命隐患:残余应力加速应力腐蚀开裂,尤其在高温高湿环境下,大幅缩短终端产品(如智能手机、AI服务器)使用寿命。
· 良率瓶颈:传统空气炉退火易导致铜材表面氧化发黑,需二次酸洗,增加成本且损伤微细结构。
真空除应力老化炉采用“低温真空去应力+精密控温”工艺,在不改变铜材力学性能的前提下,高效消除焊接残余应力。
· 低温去应力:针对无氧铜材质,设定150℃-250℃最佳去应力温区(远低于再结晶温度),有效释放60%-90%焊接残余应力,同时保留冷作硬化强度,避免腔体软化塌陷。
· 真空保护环境:炉内真空度可达10⁻² Pa - 10⁻³ Pa,彻底隔绝氧气,确保铜材及内部毛细结构光亮无氧化,无需后续酸洗,保护微细流道完整性。
· 均匀热场设计:采用多区独立控温与强制对流循环(或辐射加热优化),温差控制在±3℃以内,防止因受热不均产生新的热应力。
参数项目 | 技术指标 | 对VC行业的价值 |
最高工作温度 | 300℃(常用150-250℃) | 精准匹配铜材去应力窗口,避免过烧 |
真空度 | ≤ 5×10⁻³Pa (空炉) | 确保铜表面光亮,无氧化皮,免清洗 |
温控精度 | ±1℃ | 保证批量产品应力消除一致性 |
炉温均匀性 | ±3℃(@200℃) | 防止大尺寸VC板受热变形 |
冷却方式 | 随炉缓冷/充气快冷可选 | 灵活适配不同厚度与结构需求 |
装炉量 | 定制化料车/料架 | 适配0.3mm-3mm不同规格VC板批量生产 |
消除焊接应力引起的微观裂纹与宏观变形,显著降低真空泄漏率,将封测不良率降低30%以上。
保护内部毛细结构完整性,确保工质循环顺畅,维持VC均热板0.25℃/W的低热阻特性,满足5G基站、AI芯片等高热流密度场景需求。
通过消除应力腐蚀源头,大幅提升VC均热板在冷热冲击测试(Thermal Shock)中的表现,满足车规级及高端消费电子10年+使用寿命要求。
“真空光亮退火”工艺省去酸洗、抛光等后处理工序,减少辅材消耗与废水处理成本,生产周期缩短20%。
· 超薄VC均热板:智能手机(0.3mm-0.4mm)、折叠屏手机、平板电脑
· 高性能散热模组:笔记本电脑、AI服务器、GPU散热板
· 新能源热管理:动力电池液冷板、IGBT散热基板
· 精密铜合金部件:连接器、引线框架等焊接件去应力
· 懂工艺更懂设备:基于VC行业“蚀刻+烧结+焊接”全流程理解,提供定制化升温曲线与真空控制策略。
· 真实数据验证:支持客户带样试机,提供应力测试报告(如X射线衍射法残余应力检测)与金相分析对比。
· 交钥匙工程:从设备安装、工艺调试到人员培训,提供一站式服务,确保快速投产。
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联系电话:13925579290(微信同号)
官网:http://www.dgxhua.com
注:本文案基于当前VC均热板制造工艺及铜材热处理标准撰写,具体工艺参数需根据客户实际材质(如无氧铜C1020、铜合金等)及产品规格进行微调。


