产品名称:高真空烘烤炉
品牌厂商:东莞市新铧机械设备有限公司(国家级高新技术企业,成立于2008年)
适用行业:VC均热板(Vapor Chamber)制造、超薄均温板、热管散热组件等高端散热器件生产
本款高真空烘烤炉是东莞市新铧机械设备有限公司针对VC均热板制造工艺中真空腔体除气、吸液芯干燥、注液前水分控制等关键环节量身定制的核心设备。通过高精度真空环境与智能温控系统协同作用,确保均热板内部残留水分与非凝性气体(NCG)降至ppm级,显著提升产品传热效率与长期可靠性。
VC均热板的工作原理依赖于内部工质(通常为去离子水)在低真空环境下的相变循环:
· 蒸发区:工质受热汽化,吸收大量潜热;
· 冷凝区:蒸汽遇冷液化,释放热量;
· 毛细回流:凝结液通过铜粉烧结或铜网结构返回热源。
若腔体内存在残留水分、氧气或其他非凝性气体,将导致:
❌ 传热效率下降(等效热导率降低30%以上)
❌ 启动温度升高,响应速度变慢
❌ 长期运行中出现“气堵”现象,寿命缩短
❌ 焊接密封后内部压力异常,良率降低
高真空烘烤是解决上述问题的关键工艺步骤,其核心目标是:
✅ 彻底去除吸液芯(铜粉/铜网)及腔体内壁吸附的水分
✅ 排除封装前残留空气与挥发性有机物
✅ 为后续真空注液创造洁净、干燥的腔体环境
· 极限真空度可达 ≤5×10⁻³ Pa(可选配分子泵组达10⁻⁴ Pa级)
· 有效去除微孔结构中的结合水与非凝性气体,满足超薄VC(厚度≤0.2mm)严苛工艺要求
· 温度范围:室温 ~ 250℃(可定制300℃+)
· 控温精度:±1℃
· 采用多区独立加热+热风循环/红外辐射复合加热方式,确保腔内温差≤±3℃,避免局部过热损伤铜结构
· 支持多段程序升温、保温、真空破放控制
· 可预设“预热→抽真空→高温烘烤→降温→充氮保护”全自动流程
· 数据存储与追溯功能,符合ISO质量管理体系要求
· 内胆采用SUS304/316L不锈钢,镜面抛光,低释气
· 密封件选用耐高温氟橡胶或金属密封,避免有机物挥发污染腔体
· 可选配充氮冷却功能,防止高温氧化
· 双层隔热结构 + 智能功率调节,能耗降低20%~30%
· 多重安全保护:超温报警、真空失效联锁、过流保护、泄压阀等
· 符合CE电气安全标准
工艺环节 | 应用说明 |
吸液芯预处理 | 铜粉烧结体或铜网在封装前进行高真空烘烤,去除加工残留水分与油脂 |
腔体合盖前干燥 | 上下盖焊接前对半成品进行整体除气,确保内部洁净度 |
注液前终烘 | 真空注液工序前的最后一道干燥保障,决定最终产品性能一致性 |
返修品处理 | 对测试不合格品进行重新除气处理,提升返修成功率 |
项目 | 参数规格 |
工作室尺寸 | 300×300×300mm / 500×500×400mm / 可定制 |
极限真空度 | ≤5×10⁻³ Pa(机械泵+罗茨泵组) |
工作温度范围 | RT+20℃ ~ 250℃(最高300℃可选) |
控温精度 | ±1℃ |
温度均匀性 | ≤±3℃(空载) |
加热方式 | 不锈钢加热器 + 热风循环 / 红外辐射 |
真空系统 | 国产/进口真空泵组(Edwards、Pfeiffer可选) |
控制系统 | PLC + 7寸触摸屏,支持USB数据导出 |
电源要求 | AC380V, 50Hz, 三相五线 |
外形尺寸 | 约1200×1000×1500mm(依型号而定) |
定制服务:可根据客户产能需求提供单门、双门、推车型、在线式等多种结构;支持MES系统对接,实现智能制造集成。
· 17年行业经验:专注工业烘烤设备研发制造,服务超过500家电子、新能源、散热材料企业
· 技术实力雄厚:拥有自主专利技术与专业热工学团队,提供“设备+工艺”一体化解决方案
· 快速响应服务:全国主要产业区设服务网点,24小时技术支持,48小时现场响应
· 成功案例丰富:已为多家头部VC均热板厂商提供量产线配套设备,助力良率提升至98%+
东莞市新铧机械设备有限公司
地址:广东省东莞市万江区滘联路70号
联系人:赖观秀 139-2557-9290
官网:www.dgxhua.com / www.dgoven.com
邮箱:sales@dgxhua.com
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