无尘精密烤箱是一种专为高精度、高洁净度需求设计的工业设备，其核心特性如下：
1.洁净度控制
采用HEPA/ULPA高效过滤系统，可达到ISO Class 5（百级）或更高洁净标准
内腔采用316L不锈钢一体成型，避免颗粒脱落
正压设计防止外部污染物侵入
2.温度精准性
控温精度可达±0.1℃（视型号而定）
多区独立温控技术（常见3-8温区）
升温速率可调范围通常为1-10℃/min
3.特殊结构设计
双层密封门结构（气密+磁吸）
无风扇对流系统（避免涡流污染）
所有接缝处采用激光焊接工艺
4.智能控制系统
标配配方存储功能（≥50组工艺参数）
实时记录温度曲线（采样间隔≤1s）
支持远程监控（MODBUS/以太网接口）
5.安全防护
三重过热保护（电子/机械/软件）
漏电保护（≤0.1mA灵敏度）
惰性气体 purge 接口（选配）
典型应用领域：
半导体封装（BGA/CSP）
医疗器材灭菌
精密光学元件处理
航天级复合材料固化
维护要求：
建议每500小时更换过滤器
每月进行粒子计数器检测
年度校准温度传感器（需第三方认证）
注意：具体参数需根据厂商规格书确认，不同行业应用可能需符合特定标准（如SEMI F72、IEC 61010等）。
